納米壓痕實驗儀顧名思義就是在納米尺度上對樣品的硬度與彈性模量進行測量，主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。

　　現如今隨著新能源以及新材料行業的不斷發展，尤其是薄膜材料領域的發展，納米壓痕試驗儀的應用也越來越廣泛。納米壓痕不僅可以研究材料的硬度，還可用于研究材料接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞損耗模量等特性。

　　Anton Paar(安東帕)在材料物性測試方面有著積累了很多的經驗，這個品牌始于1922年，迄今為止已有百年歷史。而他們推出的納米壓痕實驗儀NHT3 不僅耐用，而且快速且易于用于多種高級壓痕模式，不光可以測試壓痕，還集成了表面劃痕測試。得益于其頂部表面參比的設計，其具有高載荷框架剛度 (107 N/m) 和出色的熱穩定性(原始漂移率低至0.003 nm/s)可實現高精度測量。NHT3 還兼容液體測試，并在特定配置中提供了ECR 測試模式。