超高分辨場發射掃描電鏡 產品介紹
Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡產品介紹：
SmartAlign 技術
使用 SmartAlign 技術時，用戶無需對電子束鏡筒進行任何對中，這不僅能最大限度地減少維護，還能提高電鏡生產率。
創新的電子光學系統
包括 Thermo Scientific 獲得專利的 UC+（單色器）電子槍、ConstantPower 透鏡和靜電掃描，可實現準確穩定的成像。
亞納米級分辨率Elstar Schottky 電子源單色器（UC+）FESEM 技術和性能，實現從 1 至 30 keV 的亞納米級分辨率。
一致的測量結果
Verios 掃描電鏡非常適合實驗室計量應用，能夠在高放大倍數下校準經 NIST 認證的標準品。
低劑量操作和最佳對比度選擇
結合了先進的高靈敏度、鏡筒內 & 透鏡下探測器和信號過濾功能 可實現低劑量操作和最佳襯度選擇。
輕松訪問射束著陸能量
低至 20 eV 也可實現用于真正的表面表征的極高分辨率。
無人照看的 SEM 運行
借助 AutoScript 4 軟件，可選配基于 Python 的應用程序編程界面 (API)
大腔室
可從兩種高精確穩定的壓電陶瓷驅動樣品臺中進行選擇。
超高分辨場發射掃描電鏡 技術參數
Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡規格：
電子束分辨率
在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可選）
在 2-15 kV 下 0.6 nm
1 kV 時 0.7 nm
在 500 V 下 1.0 nm
標準檢測器
ETD、TLD、MD、ICD、射束電流測量、Nav-Cam+、IR 攝像機
可選檢測器
EDS、EBSD、RGB 陰極發光、拉曼、WDS 等
載物臺偏倚（光束減速、可選）
標準配置包括高達 -4000 V
樣品清潔
標配配置包括集成式等離子清洗裝置
樣品操縱
Verios 5 UC
5-軸電動共心載物臺，配有 XYR 軸壓電驅動。
XY 范圍 150 x 150 mm2，70° 傾斜范圍。
通過門加載
Verios 5 HP
已安裝腔室
超穩定 5 軸所有壓電驅動載物臺。
XY 范圍 100 x 100 mm2，70° 傾斜范圍。
通過自動負載鎖加載。
腔室
379 mm 內徑、21 個端口
軟件選項
使用劃分和拼接進行自動大面積采集的 Thermo Scientific Maps 軟件；相關工作
Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應用程序編程界面
圖案生成軟件
TopoMaps 用于圖像彩色化、圖像分析和 3D 表面重建
