半導體檢測顯微鏡產品介紹
半導體檢測顯微鏡FS-70系列
? 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹脂等。
? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業器械的OEM (原廠委制) 產品，如那些利用YAG (近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光 對半導體晶片進行檢測和修補的設備。 不保證激光系統產品的性能和安全性。
? 應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
? 可用于紅外光學系統。應用：晶體硅的內部觀察；紅外光譜特征分析。需要紅外光源和紅外攝像機。
? 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產品) 可用。
? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學系統上的標準配件。
? 內傾轉塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
半導體檢測顯微鏡技術參數
型號 | FS70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | FS70L4-TH | ||
型號 | FS70S | FS70-THS | FS70ZS | FS70Z-THS | FS70LS | FS70L-THS | FS70L4S | FS70L4-THS | ||
聚焦調節 | 使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實現50mm行程范圍 | |||||||||
圖像 | 正像 | |||||||||
物鏡筒鏡 | 西登托夫型, 調節范圍: 51 - 76mm | |||||||||
視場數 | 24mm | |||||||||
俯角 | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | ||
透過率 | 固定(目 鏡/TV＝ 50%/50%) | 可調型(目 鏡/管徑＝ 100%/0%： 0%/100%) | 固定(目 鏡/TV＝ 50%/50%) | 可調型(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%) | ||||||
防護濾光片 | - | 內置激光濾光片 | ||||||||
管徑鏡頭 | 1x | 1x-2x放大 | 1x | |||||||
適用激光 | - | 1064/532/355nm | 532/266nm | |||||||
相機安裝端口 | C-mount (適用適配器B選件) | 使用帶TV接口的激光 | C-mount開關 (帶綠色濾光片轉換開關) | |||||||
照明系統(選件) | 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場反射照明、無極亮度調節、光纖長度 | |||||||||
物鏡 （用于觀察） | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||||
物鏡（用于激光切割） | - | M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV | M Plan UV | |||||||
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.2kg | 13.5kg | 13.9kg | 13.1kg | ||
重量（主機） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.4kg | 7.2kg | 6.7kg | 7.5kg | ||
燈泡更換 | 標準: 鹵素燈泡 (12V, 100W) (517181) | |||||||||
用于光纖傳導照明裝置 (12V, 100W) (378-700) | ||||||||||
注：鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。
半導體檢測顯微鏡標準配置
配置 | ||
序號 | 名稱 | 數量 |
1 | 主機 | 1 |
2 | 相機（根據不同型號配置） | 1 |
3 | 管徑鏡頭（根據不同型號配置） | 1 |
4 | 防護濾光片 | 1 |
5 | 物鏡（根據不同型號配置） | 1 |
6 | 鹵素燈泡 | 1 |
7 | 照明光學系統（選配） | 1 |
8 | 物鏡（選配） | 1 |
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